-
Gàirdean Robot Ceirmeag Alumina Àrd-ghlanachd airson Làimhseachadh Wafer
Tha gàirdean robotach ceirmeag alumina St.Cera air a dhèanamh gu mionaideach bho 99.8% Al₂O₃ (alumina) àrd-ghlan. Tha e a’ cothlamadh neart lùbadh air leth (361 MPa), cruas àrd (16 GPa), agus dùmhlachd ìosal (3.93 g/cm³), agus mar thoradh air sin tha gàirdean aotrom ach cruaidh airson gluasad wafer leth-chonnsachaidh. Tha co-èifeachd leudachaidh teirmeach an stuth (7.2 × 10⁻⁶/°C) a’ freagairt gu dlùth ri silicon, a’ lughdachadh mì-chothromachadh teirmeach rè giollachd.
-
Bernoulli Ceramic End Effector — Làimhseachadh Wafer Neo-chonaltraidh airson Wafers Tana is Brisidh
Bidh buaidh-chrìche ceirmeag Bernoulli aig St.Cera a’ cleachdadh togail aerodynamic gus wafers a làimhseachadh gun conaltradh corporra. Air a dhèanamh bho 99.8% alumina (Al₂O₃) no silicon carbide (SiC) àrd-ghlanachd, tha ceann-bheòil innealaichte gu mionaideach ann a bhios a’ tilgeil a-mach gas fo chuideam gus film èadhair tana a chruthachadh eadar an buaidh-chrìche agus an wafer. Bidh am prionnsapal neo-chontact seo a’ cuir às do thruailleadh cùil, sgoltadh oir, agus milleadh uachdar, ga dhèanamh freagarrach airson wafers tana (≤100 μm), brisg, no cam. Tha an t-substrate ceirmeag a’ toirt seachad neart lùbadh àrd (361 MPa airson Al₂O₃; suas ri 550–600 MPa airson SiC), mais ìosal, agus seasmhachd tomhasach sàr-mhath, a’ dèanamh cinnteach à suidheachadh ath-aithris ann an robotaichean gluasaid wafer aig astar luath.
-
Buadhaiche Deireadh Ceirmeach Còmhdaichte le Teflon – Uachdar Neo-mhaide airson Làimhseachadh Wafer Mothachail
Bidh buaidh-crìche ceirmeag le còmhdach Teflon (PTFE) aig St.Cera a’ cothlamadh fo-strat alumina àrd-neart le còmhdach PTFE èideadh, ìosal-frithidh (tiugh 15–30 μm). Tha an còmhdach a’ toirt seachad co-èifeachd frithidh glè ìosal (≤0.1), strì an aghaidh cheimigean sàr-mhath, agus feartan neo-mhaide, a’ cur casg air greamachadh bho chlòimhean agus a’ cur às do thruailleadh air a’ chùl. Tha an fo-strat ceirmeag bunaiteach (99.8% Al₂O₃) a’ tabhann neart lùbadh àrd (361–1000 MPa), strì an aghaidh caitheamh, agus seasmhachd teirmeach suas gu 260°C (crìoch còmhdach). Tha an buaidh-crìche seo air leth freagarrach airson a bhith a’ làimhseachadh chlòimhean fìnealta, tana no steigeach (me, às deidh còmhdach photoresist no pròiseasan ceimigeach).
