Buadhaiche Deireadh Ceirmeach Còmhdaichte le Teflon – Uachdar Neo-mhaide airson Làimhseachadh Wafer Mothachail
Bidh buaidh-crìche ceirmeag le còmhdach Teflon (PTFE) aig St.Cera a’ cothlamadh fo-strat alumina àrd-neart le còmhdach PTFE èideadh, ìosal-frithidh (tiugh 15–30 μm). Tha an còmhdach a’ toirt seachad co-èifeachd frithidh glè ìosal (≤0.1), strì an aghaidh cheimigean sàr-mhath, agus feartan neo-mhaide, a’ cur casg air greamachadh bho chlòimhean agus a’ cur às do thruailleadh air a’ chùl. Tha an fo-strat ceirmeag bunaiteach (99.8% Al₂O₃) a’ tabhann neart lùbadh àrd (361–1000 MPa), strì an aghaidh caitheamh, agus seasmhachd teirmeach suas gu 260°C (crìoch còmhdach). Tha an buaidh-crìche seo air leth freagarrach airson a bhith a’ làimhseachadh chlòimhean fìnealta, tana no steigeach (me, às deidh còmhdach photoresist no pròiseasan ceimigeach).
Sònrachaidhean (stèidhichte air fo-strat Al₂O₃ 99.8% le còmhdach PTFE):
| Seilbh | Luach |
| Stuth Fo-strat | 99.8% Alumina (Eabhair) |
| Stuth Còmhdaich | PTFE (Teflon) |
| Tiughas Còmhdach | 15–30 μm |
| Co-èifeachd Frithidh (Còmhdaichte) | ≤0.1 |
| Neart Lùbadh an t-Substrait (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Cruas an t-substrate (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Dlùths an t-substrate | 3.93 g/cm³ |
| Teòthachd Obrachaidh as àirde (crìoch còmhdach) | 260°C |
| Garbh-uachdar (roimhe còmhdach) | Ra ≤0.4 μm |
| Neart Dielectric (substrate) | 15 × 10⁶ V/m |
Nota: Tha còmhdach PTFE a’ cuingealachadh an teòthachd as àirde gu 260°C; airson tagraidhean aig teòthachd nas àirde, smaoinich air ceirmeag neo-chòmhdaichte no còmhdach eile.
Tagraidhean:
- · A’ làimhseachadh wafers an dèidh còmhdach photoresist (uachdaran steigeach)
- · Gluasad oiteagan tana no brisg (a’ cur casg air steigeadh)
- · Innealan sgrùdaidh leth-sheoltairean agus meatreòlais
- · Uathoibrachadh seòmar-glan far am feumar truailleadh mìrean a lughdachadh
Pròiseas Riochdachaidh:
Bun-stuth ceirmeach air a shintéireachadh agus air a bleith gu mionaideach → garbhachadh uachdar (plasma etch no grit spreadhadh) → còmhdach spraeadh PTFE → leigheas teas aig 380°C → sgrùdadh deireannach. Thèid gach buaidh-chrìochnachaidh a sgrùdadh airson tiughas còmhdach (sruth cuartachaidh), greamachadh (deuchainn gearraidh-tarsainn ASTM D3359), agus co-èifeachd frithidh.
Smachd Càileachd:
Sgrùdadh lèirsinneach 100% airson tuill-phìoban no builgeanan; cunbhalachd tighead a’ chòmhdaich taobh a-staigh ±5 μm; gun dì-laminachadh às dèidh deuchainn lùb 90° air cùpón fianaise. Sgrùdadh tomhasach gu fulangas OEM (fad ±0.05 mm, rèidhleanachd ≤0.1 mm).
Buannachdan thairis air còmhdach neo-chòmhdaichte no còmhdach eile:
- · Bidh uachdar neo-mhaide a’ cur casg air greamachadh is briseadh wafer
- · An co-èifeachd frithidh as ìsle am measg chòtaichean ceirmeag
- · Seasmhachd ceimigeach sàr-mhath (aigéid, bunaitean, fuasglaidhean)
- · A’ lughdachadh gineadh mìrean le bhith a’ cur casg air gluasad stuthan
Teòran (beachdan air diall stuthan):
Chan eil an còmhdach PTFE air a thoirt bho na clàran feartan stuthan a chaidh a thoirt seachad (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Tha feartan an t-substrate a’ leantainn gu teann an duilleag-dàta a chaidh a thoirt seachad (99.8% Al₂O₃). Tha feartan a’ chòmhdaich stèidhichte air sònrachaidhean PTFE àbhaisteach gnìomhachais, leis nach deach dàta còmhdach sam bith a thoirt seachad. Airson tagraidhean os cionn 260°C, thathas a’ moladh èifeachdair crìochnachaidh ceirmeag gun chòmhdach.*
Gnàthachadh:
Ri fhaighinn ann am faid 150–1500 mm, cumaidhean bàrr (greim oir, Bernoulli, còmhnard), pàtrain flange sreapachaidh a rèir dealbh an OEM. Còmhdach pàirteach (raointean conaltraidh a-mhàin) no còmhdach iomlan roghainneil.
Iarr sampall airson deuchainn greamachaidh is frithidh.
