Gàirdean Robot Ceirmeag Alumina Àrd-ghlanachd airson Làimhseachadh Wafer
Tha gàirdean robotach ceirmeag alumina St.Cera air a dhèanamh gu mionaideach bho 99.8% Al₂O₃ (alumina) àrd-ghlan. Tha e a’ cothlamadh neart lùbadh air leth (361 MPa), cruas àrd (16 GPa), agus dùmhlachd ìosal (3.93 g/cm³), agus mar thoradh air sin tha gàirdean aotrom ach cruaidh airson gluasad wafer leth-chonnsachaidh. Tha co-èifeachd leudachaidh teirmeach an stuth (7.2 × 10⁻⁶/°C) a’ freagairt gu dlùth ri silicon, a’ lughdachadh mì-chothromachadh teirmeach rè giollachd.
Sònrachaidhean (stèidhichte air 99.8% Al₂O₃):
| Seilbh | Luach |
| Dath | Eabhair |
| Dlùths | 3.93 g/cm³ |
| Neart Lùbadh | 361 MPa |
| Cruas Vickers | 16 GPa |
| Modúl Young | 380 GPa |
| Seoltachd Teirmeach | 32 W/m·k |
| Leudachadh Teirmeach | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| Neart Dielectric | 15 × 10⁶ V/m |
Tagraidhean:
- Robotan gluasaid wafer falamh (200mm/300mm)
- Siostaman làimhseachaidh àile
- Gàirdeanan buaidh-deireadh airson fèin-ghluasad FAB
Pròiseas Saothrachaidh:
Brùthadh isostatach → innealachadh uaine → sintearachd aig 1600°C → bleith mionaideach CNC → glanadh ultrasonach → pacadh seòmar-glan Clas 100. Tha gach gàirdean air a sgrùdadh 100% leis a’ CMM airson rèidhleanachd (±0.01 mm) agus garbhlachd uachdar (Ra ≤0.4 μm).
Smachd Càileachd:
Tha teisteanas ISO 9001:2015 aig St.Cera. Bidh sinn a’ dèanamh deuchainnean treòrachaidh dath airson meanbh-sgàinidhean, lùbadh trì-phuing airson neart lùbadh, agus deuchainn neart dielectric a rèir ASTM D149.
Buannachdan thairis air gàirdeanan meatailt:
- 50% nas aotroime na stàilinn gun smal
- Gun chreimeadh galvanach
- Gineadh nas ìsle de ghràinean (≤0.05 gràinean/cm²)
- Còmhdach sàbhailte ESD ri fhaighinn (10⁶–10⁹ Ω/ceàrnagach)
Gnàthachadh:
Fad bho 150mm gu 450mm, cumaidhean bàrr (greim oir, Bernoulli, falamh), agus pàtrain flange sreap a rèir dealbhan OEM. Prototaipean ann an 2 sheachdain.
Airson òrdughan mòra, iarr luachan.
