Èifeachdaiche Deireadh Ceirmeag Alumina Àrd-ghlanachd airson Robotan Làimhseachaidh Wafer
Tha buaidh-chrìoch ceirmeag alumina St.Cera air a innealachadh gu mionaideach bho 99.8% Al₂O₃ àrd-ghlanachd a’ cleachdadh uidheamachd bleith CNC 5-axis adhartach. Tha ar comasan saothrachaidh a’ toirt a-steach innealan bleith mionaideach agus ionadan innealachaidh CNC, a’ comasachadh geoimeatraidhean iom-fhillte le mionaideachd àrd. Tha pròifil tana aig a’ bhuaidh-chrìoch (cho tana ri 1.5 mm) le oir biorach airson cuir a-steach rèidh an aghaidh wafer. Tha an stuth a’ toirt seachad stiffness àrd (modulus Young 380 GPa), strì an aghaidh caitheamh sàr-mhath, agus seasmhachd teirmeach suas gu 800 ° C. Tha gach aonad air a bleith gu mionaideach gus rèidhleanachd de 0.003mm, co-shìnteachd de 0.002mm, agus crìochnachadh uachdar de Ra0.1 a choileanadh, a’ dèanamh cinnteach à conaltradh cunbhalach leis na wafers agus obrachadh gun ghràinean ann an àrainneachdan FAB leth-chonnsachaidh. Ri fhaighinn ann am faid bho 150 mm gu 450 mm, le geoimeatraidhean bàrr gnàthaichte (greim oir, Bernoulli, rèidh) agus flanges sreap gus freagairt air robotaichean OEM. Tha roghainnean crìochnachaidh uachdar a’ gabhail a-steach còmhdach lapaichte, snasta, no còmhdach sgaoilidh ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq.
Sònrachaidhean (stèidhichte air 99.8% Al₂O₃& comasan saothrachaidh St.Cera):
| Seilbh | Luach |
| Stuth | 99.8% Alumina (Eabhair) |
| Dlùths | 3.93 g/cm³ |
| Neart Lùbadh | 361 MPa |
| Cruas Vickers | 16 GPa |
| Modúl Young | 380 GPa |
| Cothromachd | 0.003mm |
| Co-shìnteachd | 0.002mm |
| Crìochnachadh Uachdar | Ra0.1 (air a lapadh/air a snasadh) |
| Teòthachd Obrachaidh as àirde | 800°C |
| Raon Fad | 150–450 mm |
Tagraidhean:
- · Gluasad wafer ann an innealan-fuadain falamh is àile
- · Buadhairean deireadh fèin-ghluasaid FAB airson wafers 200mm/300mm
- · Làimhseachadh wafer tana (le roghainn ESD)
Comasan Riochdachaidh:
Leigidh na h-innealan bleith mionaideach againn agus na h-ionadan innealachaidh CNC le cinneasachadh phàirtean ceirmeag iom-fhillte le:
- · Fad innealachaidh as motha: 1500mm
- · Trast-thomhas as motha a-muigh: 600mm
- · Trast-thomhas a-staigh as ìsle: 0.2mm
- · Tiughas as motha: 100mm
Smachd Càileachd:
Dìreachas 0.005mm, ceart-cheàrnachd 0.005mm, cruinnachd 0.002mm, co-shìnteachd 0.002mm, dùmhlachd 0.01mm air a dhearbhadh le CMM. Tha gach aonad air a ghlanadh le ultrasonaig agus air a phacaigeadh ann an seòmar-glan Clas 100.
