Chuck falamh SiC porous le cùl meatailt airson làimhseachadh wafer cam is tana
Tha an chuck falamh ceirmeag stèidhichte air meatailt aig St.Cera a’ cothlamadh sreath ceirmeag silicon carbide porous (SiC) le bonn meatailt innealaichte gu mionaideach (alùmanum no stàilinn gun smal). Tha an stuth SiC porous (gorm-dubh, porosity 35–40%, meud pore 20–30 μm, treòiteachd 60 ml/cm²·min) a’ toirt seachad sgaoileadh falamh èideadh, socair thairis air uachdar iomlan a’ chlais, a’ cur às do chomharran oir agus a’ comasachadh taic neo-conaltraidh airson claisean tana (≤100 μm) no cam. Tha an sreath SiC a’ tabhann leudachadh teirmeach ìosal (3.5 × 10⁻⁶/℃), seasmhachd teirmeach suas gu 1000 ° C, agus neart lùbadh meadhanach (32–35 MPa). Tha am bonn meatailt a’ cur ri cruas structarail, stàladh furasta tro thuill snàthaichte, agus dìon an aghaidh brisidh brisg. Tha an chuck seo air leth freagarrach airson bleith cùil, dìsneachadh, agus giullachd claisean àrd-teòthachd far a bheil co-chòrdalachd falamh agus teirmeach èideadh deatamach.
Sònrachaidhean (stèidhichte air dàta SiC porous a chaidh a thoirt seachad):
| Seilbh | Luach |
| Stuth Ceirmeach | Carbaid Sileaconach Sùghach (SiC ≥80%) |
| Dath | Gorm-dubh |
| Poirseachd | 35–40% |
| Meud nam Poirean | 20–30 μm |
| Dlùths | 2.1–2.3 g/cm³ |
| Treòiteachd | 60 ml/cm²·min |
| Neart Lùbadh | 32–35 MPa |
| Co-èifeachd Leudachaidh Teirmeach (25-1000°C) | 3.5 × 10⁻⁶/℃ |
| Teòthachd Obrachaidh as àirde | 1000°C |
| Frith-aghaidh dealain | 10⁻¹⁰ Ω/cm (a rèir an dàta a chaidh a thoirt seachad, àbhaisteach airson SiC porous) |
| Stuth Bunait Meatailt | Alùmanum 6061 no Stàilinn gun Mheirg 304 (roghainneil) |
| Tiughas Bonn Meatailt | 10–30 mm (gnàthaichte) |
Nota: Tha neart lùbadh nas ìsle na SiC dùmhail air sgàth porosity. Chan eil feartan bunait meatailt bho bhùird ceirmeag.
Tagraidhean:
- · Bleith cùil nan uaifearan tana (≤100 μm)
- · Suidheachadh wafer cam airson dìsneanadh
- · Tilgeil uaifearan aig teòthachd àrd (suas ri 1000°C)
- · Uidheamachadh falamh airson fo-stratan porous no brisg
Saothrachadh:
Plàta SiC porous (air a chruthachadh le cruthadairean pores, air a shintéireachadh) → air a lapadh gu rèidhlean ≤10 μm → bonn meatailt air a innealachadh le puirt falamh agus feartan sreap → ceangal epoxy no teannachadh meacanaigeach → deuchainn aodion helium.
Smachd Càileachd:
- · Porosity agus meud pore air an dearbhadh le SEM
- · Deuchainn treòiteachd (sruthadh adhair)
- · Cothromachd air a thomhas le eadar-theachdair laser
- · Ìre aodion helium <1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
Buannachdan thairis air Chucks Ceirmeach Grooved no Dense:
- · Gun chomharradh air uaifearan - falamh èideadh gun tuill fa leth
- · Poirean fèin-ghlanadh - lùghdachadh bacadh
- · A’ làimhseachadh uaifearan cam (bogha suas ri 500 μm)
- · Tha bonn meatailt a’ cur casg air briseadh brisg agus a’ sìmpleachadh amalachaidh
Cuingealachaidhean:
- · Neart lùbadh nas ìsle (32–35 MPa) – seachain luchdan buaidh
- · Teòthachd obrachaidh cuibhrichte gu 1000°C (SiC porous), ach tha ceangal epoxy stèidhichte air meatailt cuibhrichte gu ≤200°C mura tèid a chlampadh gu meacanaigeach
- · Chan eil e freagarrach airson falamh àrd-bhruthadh (tha structar porous a’ cuingealachadh an eadar-dhealachaidh falamh as motha)
Gnàthachadh:
- · Bonn meatailt: alùmanum (aotrom), stàilinn gun smal (an aghaidh creimeadh), Invar (leudachadh ìosal)
- · Ceangal: epocsa (≤200°C) no teannachadh meacanaigeach (suas ri 500°C)
- · Fàinne seulachaidh oir airson smachd falamh sòn
Thoir an aire: Tha an neart lùbadh a tha air a thoirt seachad (32–35 MPa) gu math nas ìsle na ceirmeag dùmhail air sgàth cho porous ’s a tha e. Làimhsich gu faiceallach gus casg a chuir air sgoltadh oirean.
