Plàta Sgaoilidh Gas Alumina airson Ceann-fras CVD/PVD
Tha truinnsear cuairteachaidh gas (ceann fras) St.Cera air a innealachadh gu mionaideach bho cheirmeag alumina 99.8% àrd-ghlanachd. Tha sreath de mhicro-tholl ann (trast-thomhas 0.3–1.5 mm) a nì cinnteach à sruthadh gas cunbhalach thairis air uachdar an uaif rè phròiseasan CVD, PVD, no ALD. Tha neart dielectric àrd a’ phlàta (>15 × 10⁶ V / m) agus an aghaidh plasma ga dhèanamh riatanach airson tasgadh film tana leth-chonnsachaidh.
Sònrachaidhean:
| Seilbh | Luach |
| Stuth | 99.8% Al₂O₃ no SiC |
| Trast-thomhas | 100 – 1500mm (cruinn) no ceart-cheàrnach |
| Tiughas | 5 – 20 mm |
| Trast-thomhas an Toll | 0.3 – 1.5 mm |
| Pàtran Toll | Gnàthaichte (trì-cheàrnach, ceàrnagach, rèididheach) |
| Cothromachd | ≤10 μm thairis air an raon slàn |
| Garbh-uachdar | Ra ≤0.6 μm (taobh gas) |
| Co-mheas Raon Fosgailte | 5–15% |
Tagraidhean:
Pleitean ceann fras PECVD
Innealan-stealladh gas ALD
Plàtaichean cuairteachaidh gas seòmar gràbhaladh
Co-phàirtean reactar MOCVD
Saothrachadh:
Bun-strat alumina air a lapadh còmhnard → Drileadh CNC le innealan còmhdaichte le daoimean (fulangas suidheachadh tuill ±0.02 mm) → dì-bhurradh → glanadh ultrasonach → Pacadh Clas 100.
Smachd Càileachd:
Tha gach truinnsear air a sgrùdadh 100% airson meud an tuill (siostam lèirsinn), rèidhleanachd (eadar-theachdair laser), agus cunbhalachd sruthadh gas (mapadh cuideam). Gun sgàinidhean beaga fo mhiocroscop 20x.
Buannachdan thairis air Plàtaichean Meatailt:
Gun truailleadh meatailteach ann am filmichean tana
Gineadh nas ìsle de ghràinean (gun sgoltagan creimeadh)
A’ seasamh an aghaidh plasma glanaidh ionnsaigheach (CF₄, NF₃)
Feartan Gnàthaichte:
Seanalan gas air a’ chùl, tuill an-aghaidh tolladh, ròin oir, agus diofar ìrean stuthan (SiC airson seoltachd teirmeach nas àirde, còmhdach Y₂O₃ airson strì an aghaidh plasma).
Bidh sinn a’ toirt seachad dearbhadh CAD agus atharrais sruthadh mus tèid saothrachadh.
