Prìne Taiceil Ceirmeach airson Innealan Pròiseas Semiconductor
Bithear a’ cleachdadh prìnichean taice ceirmeagach St.Cera (ris an canar cuideachd prìnichean togail no prìnichean taice) ann an seòmraichean pròiseas leth-chonnsachaidh gus uaifearan no fo-stratan a thogail nuair a thathar gan làimhseachadh, gan teasachadh no gan fuarachadh. Air an dèanamh à 99.8% alumina no silicon nitride, tha na prìnichean seo a’ tabhann neart teannachaidh àrd, seasmhachd teirmeach agus strì an aghaidh cheimigean. Tha an dealbhadh leth-chruinneach no rèidh a’ cur casg air sgrìobadh uaifearan.
Sònrachaidhean(Alumina 99.8%):
| Seilbh | Luach |
| Stuth | 99.8% Al₂O₃ no Si₃N₄ |
| Fad | 10 – 100 mm |
| Trast-thomhas | 1 – 10 mm |
| Cruth a' Bhùird | Còmhnard, leth-chruinneach, biorach |
| Neart teannachaidh (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Teòthachd Obrachaidh as àirde (Al₂O₃) | 1600°C |
| Crìochnachadh Uachdar | Lapadh (Ra ≤0.4 μm) |
| Fulangas air Trast-thomhas | ±0.01 mm |
Tagraidhean:
Prìnichean togail ann an seòmraichean CVD/PVD
Prìnichean taice airson bèicearachd air truinnsear teth
Structaran taic cairt probe
Taicichean bàta àmhainn grianchloch
Saothrachadh:
Bleith gun ionad mionaideach de OD → bleith daoimean de phròifil a’ mhullaich → glanadh ultrasonach → sgrùdadh tomhasach 100%.
Smachd Càileachd:
CMM airson fad/trast-thomhas, coimeasair optaigeach airson radius a’ bhàrr, deuchainn luchdan gus neart teannachaidh a dhearbhadh (sampall air thuaiream gach baidse). Gun thruailleadh ferromagnetic (air a dhearbhadh le magnet).
Buannachdan thairis air prìnichean meatailt no grianchloch:
Fad-beatha 5 uiread nas fhaide na stàilinn gun smal
Gun truailleadh meatailt anns an t-seòmar pròiseis
Comas teòthachd nas àirde na grian-chlach (1600°C an aghaidh 1100°C)
Uachdar neo-mhaide (greamachadh gràinean nas lugha)
Gnàthachadh:
Ioma phròifilean bàrr, bonn snàthaichte, no siaft biorach.
Bidh sinn cuideachd a’ toirt seachad prìnichean SiC airson àrainneachdan plasma anabarrach.
