Fàinne Ceirmeag Alumina Àrd-ghlanachd airson Seòmraichean Pròiseas CVD / PVD
Tha fàinne ceirmeag St.Cera air a dhealbhadh gu sònraichte airson a chleachdadh ann an seòmraichean pròiseas CVD (Chemical Vapor Deposition) agus PVD (Physical Vapor Deposition). Air a dhèanamh bho 99.8% alumina àrd-ghlanachd (Al₂O₃), tha an fhàinne seo na lìnigeadh seòmar, fàinne fòcais, no pàirt pasgan pròiseas gus plasma a chuingealachadh agus ballachan seòmar a dhìon bho chreimeadh. Tha an stuth a’ tabhann strì an aghaidh plasma sàr-mhath, neart dielectric àrd (15 × 10⁶ V / m), agus seasmhachd teirmeach suas gu 1600 ° C, a’ dèanamh cinnteach à beatha seirbheis fhada ann an àrainneachdan plasma stèidhichte air fluorine ionnsaigheach. Bidh fulangas tomhasach mionaideach (± 0.05 mm air ID / OD) agus rèidh (≤10 μm) a’ comasachadh suidheachadh oir wafer cunbhalach, a’ leasachadh cunbhalachd tasgadh agus a’ lughdachadh gineadh mìrean.
Sònrachaidhean (stèidhichte air 99.8% Al₂O₃):
| Seilbh | Luach |
| Stuth | 99.8% Alumina (Eabhair) |
| Dlùths | 3.93 g/cm³ |
| Gabhail a-steach uisge | 0% |
| Neart Lùbadh | 361 MPa |
| Cruaidh-bhriseadh | 3–4 MPa·m¹/² |
| Cruas Vickers | 16 GPa |
| Modúl Young | 380 GPa |
| Seoltachd Teirmeach | 32 W/m·k |
| Leudachadh Teirmeach (25–1000°C) | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| Neart Dielectric | 15 × 10⁶ V/m |
| Frith-aghaidh shònraichte | >10¹⁴ Ω·cm |
| Teòthachd Obrachaidh as àirde | 1600°C |
Tagraidhean:
- · Fàinneachan fòcas seòmar CVD agus fàinneachan oir
- · Fàinneachan sgiath seòmar PVD agus fàinneachan clampaidh
- · Lìnigeadh seòmar agus fàinneachan còmhdaich a ghràbhaladh
- · Fàinneachan cuibhreachaidh plasma ann an siostaman gràbhaidh dielectric
Pròiseas Saothrachaidh:
Brùthadh isostatach → innealachadh uaine → sintearachd aig 1600°C → bleith ID/OD CNC → lùbadh uachdar → glanadh ultrasonach → sgrùdadh CMM 100%. Bidh crìochnachadh uachdar rèidh (Ra ≤0.4 μm) a’ lughdachadh greamachadh mìrean.
Smachd Càileachd:
- · Sgrùdadh tomhasach 100% (ID, OD, tighead, rèidhleanachd)
- · Sgrùdadh treòrachaidh dath airson meanbh-sgàinidhean uachdar
- · Deuchainn neart dealain a rèir ASTM D149
- · Gun dath neo-dhathte no porous ri fhaicinn fo mhiocroscop 20 ×
Buannachdan thairis air fàinnean meatailt no grianchloch:
- · Fad-beatha 5–10 uair nas fhaide na fàinneachan alùmanaim ann am plasma fluorine
- · Gun truailleadh meatailt ann am filmichean tana
- · Frith-sheasmhachd plasma nas àirde na grian-chlach (gun slocan bleith)
- · A’ cumail suas insulation dealain >10¹⁴ Ω·cm eadhon an dèidh cleachdadh fad-ùine
Stuth Eile — Silicon Nitride (Si₃N₄):
Airson tagraidhean a dh’ fheumas seasmhachd brisidh eadhon nas àirde (6.2 MPa·m¹/²) agus strì an aghaidh clisgeadh teirmeach nas fheàrr (co-èifeachd leudachaidh 3.2 × 10⁻⁶/℃), tha fàinneachan Si₃N₄ rim faighinn. Ach, tha alumina nas èifeachdaiche a thaobh cosgais airson a’ mhòr-chuid de thagraidhean CVD/PVD. Feuch an innis thu dhuinn dè an stuth a tha thu ag iarraidh nuair a bhios tu ag òrdachadh.
Gnàthachadh:
- · Tuill troimhe, pròifilean ceumichte, no toll-cunntais airson a chuir suas
- · Uachdar còmhdaichte le Y₂O₃ airson strì an aghaidh plasma nas fheàrr (roghainneil)
- · Greanadh leusair air àireamh pàirt / còd baidse
Nota:Tha an dàta gu h-àrd a’ leantainn gu teann clàr feartan Al₂O₃ a chaidh a thoirt seachad. Airson fàinneachan Si₃N₄, thoir sùil air an duilleag-dàta Si₃N₄ air leth a chaidh a thoirt seachad.
