Èifeachdaiche Deireadh Ceirmeach Silicon Carbide (SiC) – Stiùireachd Àrd airson Làimhseachadh Wafer aig Teòthachd Àrd
Tha buaidh-crìche ceirmeag SiC St.Cera air a dhèanamh à carbide silicon àrd-ghlanachd (susbaint SiC 99.72%, Si saor 0.05%) a’ cleachdadh stuth baidse S1111. Tha feartan meacanaigeach air leth aige: neart lùbadh 449 MPa (air a thomhas), modulas leaghan 457 GPa (air a thomhas), agus cruas Vickers 25–28 GPa (àbhaisteach). Tha an dùmhlachd ìosal (3.10–3.15 g/cm³, àbhaisteach) a’ toirt seachad stiffness sònraichte àrd, air leth freagarrach airson robotaichean gluasaid wafer aig astar luath. Le seoltachd teirmeach de 120–150 W/m·K (àbhaisteach) agus co-èifeachd leudachaidh teirmeach de 4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃ (àbhaisteach), bidh an buaidh-crìche seo a’ sgaoileadh teas gu h-èifeachdach agus a’ cumail seasmhachd tomhasach rè làimhseachadh aig teòthachd àrd (suas gu 1600–1700 ° C, gun luchd). Tha an dath dubh/liath agus neoni gabhail a-steach uisge a’ dèanamh cinnteach gu bheil e co-chòrdalach ri seòmraichean glan.
Sònrachaidhean(stèidhichte air aithisg deuchainn SiC S1111 a chaidh a thoirt seachad & luachan àbhaisteach)):
| Seilbh | Luach |
| Stuth | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si Saor) |
| Dath | Dubh/Liath |
| Dlùths | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Gabhail a-steach uisge | 0% |
| Neart Lùbadh | 449 MPa (cuibheasach) |
| Cruaidh-bhriseadh | 3.12 MPa·m¹/² (cuibheasach) |
| Modúl Leaghach | 457 GPa |
| Cruas Vickers | 25–28 GPa |
| Seoltachd Teirmeach (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5 × 10⁻⁶/℃ |
| Teòthachd Cleachdaidh as àirde (gun luchd) | 1600–1700°C |
Tagraidhean:
● Làimhseachadh uaifearan aig teòthachd àrd (às dèidh an teasachadh, RTP, epitaxy)
● Seòmraichean plasma-èiteachaidh a dh’ fheumas strì an aghaidh creimeadh àrd
● Robotan gluasaid aig astar luath (aotrom, stiffness àrd)
Saothrachadh:
Sinteradh pùdar SiC → bleith mionaideach CNC de phròifil gàirdean agus feartan sreap → lapadh uachdar → glanadh ultrasonach. Sgrùdadh 100% tomhasach agus deuchainn aodion helium airson tagraidhean falamh.
Smachd Càileachd:
● Sgrùdadh CMM air fad, leud, agus rèidhleanachd
● Deuchainn neart lùbadh gach baidse (a rèir inbhe aithisg deuchainn)
● Sgrùdadh lèirsinneach fo mhiocroscop airson lochdan uachdar
Buannachdan thairis air Alumina no Meatailt:
● 2 × modúl leaisteach nas àirde (457 an aghaidh ~380 GPa airson alumina) – nas lugha de chlaonadh
● 3 uiread de ghiùlan teirmeach nas àirde – sgaoileadh teas nas luaithe
● A’ seasamh an aghaidh >1600°C an taca ri 800°C alumina san adhar
● Dùmhlachd nas ìsle na stàilinn – lùghdachadh cuideam 40%
Gnàthachadh:
Fadaichean 150–450 mm, cumaidhean nam bàrr (greim oir, Bernoulli, còmhnard), pàtrain flange sreap a rèir dealbh OEM.
*Tha an dàta meacanaigeach gu h-àrd a’ tighinn bhon aithisg deuchainn a chaidh a thoirt seachad (baidse S1111). Tha luachan teirmeach is cruas àbhaisteach airson a’ ghràd SiC seo; cuir fios thugainn airson teisteanas sònraichte don bhaidse.*
