Fàinne Ròin Ceirmeach Alumina Àrd-ghlanachd airson Seulachadh Seòmar Teòthachd Àrd
Tha fàinne ròin ceirmeach St.Cera air a dhealbhadh mar roghainn eile an àite fàinnean-O polymer ann an àrainneachdan anabarrach far a bheil elastomers a’ crìonadh. Air a dhèanamh bho 99.8% alumina àrd-ghlanachd (Al₂O₃), thathas a’ cleachdadh an fhàinne ròin teann seo ann an tagraidhean seulachaidh statach - mar as trice air a chàradh le gasgaid meatailt bog no grafait - gus falamh no cumail gas earbsach a thoirt seachad aig teòthachd suas gu 800 ° C agus ann an àrainneachdan plasma no ceimigeach ionnsaigheach. Tha an stuth a’ tabhann neoni a-mach gas, neart teannachaidh àrd (neart lùbadh bunaiteach 361 MPa), agus neo-ghnìomhachd cheimigeach (an aghaidh halogens, searbhagan, agus alcalan ach a-mhàin HF). Bidh uachdaran seulachaidh le lapaichean mionaideach (cothromachd ≤5 μm, garbh-uachdar Ra ≤0.2 μm) a’ dèanamh cinnteach à conaltradh teann le co-phàirtean meatailt no ceirmeach a tha a’ freagairt.
Sònrachaidhean(stèidhichte air 99.8% Al₂O₃):
| Seilbh | Luach |
| Stuth | 99.8% Alumina (Eabhair) |
| Dlùths | 3.93 g/cm³ |
| Gabhail a-steach uisge | 0% |
| Neart Lùbadh | 361 MPa |
| Neart teannachaidh (meas.) | >2000 MPa |
| Cruas Vickers | 16 GPa |
| Leudachadh Teirmeach (25–1000°C) | 7.2 × 10⁻⁶/℃ |
| Teòthachd Obrachaidh as àirde | 800°C (èadhar), 1600°C (neo-ghnìomhach) |
| Crìoch uachdar (aghaidh seulachaidh) | Ra ≤0.2 μm (air a lapadh) |
| Cothromachd (gach 25 mm) | ≤5 μm |
| Ìre Aodion Helium | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (le gasgaid iomchaidh) |
Tagraidhean:
- · Ròin statach seòmar pròiseas leth-sheoltairean (CVD, PVD, etch)
- · Ròin dorais àmhainn teòthachd àrd
- · Flanges biadhaidh falamh
- · Dùnadh shoithichean reactar ceimigeach
Pròiseas Riochdachaidh:
Brùthadh isostatach → sintearachd aig 1600°C → lapadh dà-thaobhach mionaideach gus aghaidhean seulachaidh rèidh, rèidh fhaighinn → beumadh oir → glanadh ultrasonach. Tha gach fàinne air a dhearbhadh 100% airson aodion air lorgaire aodion helium le gasgaid meatailt àbhaisteach.
Smachd Càileachd:
- · Sgrùdadh tomhasach CMM (ID, OD, tighead, co-shìnteachd)
- · Pròifiliméadar uachdar airson Ra agus tonnachd
- · Tomhas rèidhneas a’ cleachdadh rèidhneas optigeach
- · Deuchainn aodion helium (dòigh cuideam-cùil)
Buannachdan thairis air fàinneachan-O polymer:
- · Seasamh 800 ° C vs <300 ° C airson FFKM
- · Gun sgaoileadh gas - gun truailleadh àrainneachd falamh
- · A’ seasamh an aghaidh a h-uile ceimigeachd plasma (fluorine, clòirin, ogsaidean)
- · Gun teannachadh teann no deformachadh maireannach
- · Beatha seirbheis gun chrìoch ann an àrainneachdan glan
Teòraidhean (Beachdan breithneachail):
- · Chan e fàinne-O a th' ann— ’s e fàinne ceirmeag cruaidh a th’ ann a dh’ fheumas gasgaid bhog (copar, alùmanum, no grafait) airson a seulachadh.
- · Chan eil e a’ gabhail ri gluasad fiùghantach no mì-thaobhadh mòr flange.
- · Cosgais tùsail nas àirde na fàinneachan-O polymer, ach tha fad-beatha nas fhaide a’ lughdachadh cosgais seilbh.
- · Brisg — làimhsich gu faiceallach; seachain buaidh puing no cuideam lùbadh.
Nota:Tha an dàta gu h-àrd a’ leantainn gu teann clàr feartan Al₂O₃ a chaidh a thoirt seachad. Cha deach dàta sam bith airson stuthan elastomeric a thoirt seachad. Is e fàinne ròin statach a tha seo, chan e fàinne-O elastomeric. Feuch an dearbhaich thu a bheil seo a’ coinneachadh ri riatanasan an tagraidh agad.
