Chuck falamh àbhaisteach stèidhichte air alùmana - teannachadh àrd airson innealachadh mionaideach
Tha an chuck falamh seo stèidhichte air alumina air a dhèanamh bho 99.8% Al₂O₃, a’ tabhann uachdar rèidh neo-phorach le pàtrain clais falamh gnàthaichte. Tha e a’ toirt seachad cruas sònraichte (modulus Young 380 GPa) agus rèidh (≤3 μm), ga dhèanamh freagarrach airson bleith, lapadh agus dìsneadh mionaideach de wafers leth-chonnsachaidh agus co-phàirtean optigeach. Tha seoltachd teirmeach àrd an stuth (32 W/m·k) a’ dèanamh cinnteach à cunbhalachd teòthachd rè giollachd.
Sònrachaidhean(stèidhichte air 99.8% Al₂O₃):
| Seilbh | Luach |
| Stuth | 99.8% Alumina (Eabhair) |
| Dlùths | 3.93 g/cm³ |
| Neart Lùbadh | 361 MPa |
| Cruas Vickers | 16 GPa |
| Modúl Young | 380 GPa |
| Seoltachd Teirmeach | 32 W/m·k |
| Cothromachd | ≤3 μm (os cionn 200mm) |
| Garbh-uachdar (taobh a' chuck) | Ra ≤0.4 μm |
| Teòthachd Obrachaidh as àirde | 800°C |
Tagraidhean:
- · Bleith cùil na h-uaifearan (garbh is mìn)
- · Gearradh mionaideach de stuthan brisg
- · Lapadh fo-stratan ceirmeag
- · Snasadh lionsa optaigeach
Saothrachadh:
Lapadh mionaideach air gach taobh → claiseadh daoimean (roghainneil) → cruinneachadh oirean → glanadh ultrasonach → sgrùdadh rèidh 100% le eadar-theachdair laser.
Abuannachdan:
- · Bidh taic chruaidh a’ lughdachadh claonadh fo luchd
- · Gun gineadh mìrean bhon structar porous
- · Furasta a ghlanadh (co-chòrdail ri sguabadh le fuasglaiche)
- · Claisean falamh gnàthaichte (co-chruinneach, rèididheach, pàtrain gnàthaichte)
Meudan a tha rim faighinn:
Cruinn: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; ceàrnagach/ceart-cheàrnach air iarrtas.
Bidh sinn cuideachd a’ tabhann dreachan stèidhichte air meatailt airson neart meacanaigeach nas àirde.
